熱の無駄遣いをやめよう：なぜファブにおいて金メッキされた反射器が重要なのか
ウェーハ製造工程では、エネルギーの無駄遣いは時間の無駄遣いと同じことです。ウェーハを加熱しているのに、その赤外線エネルギーの半分が機械の筐体の中に漏れてしまうのは、本当に腹立たしいことです。これは完全な無駄遣いです。
だからこそ、私たちは金メッキされた反射器を使用するのです。そうすれば、その熱が外に逃げるのを防ぎ、本来あるべき場所である基板に戻すことができます。
金の利点
多くの人はアルミニウム製の反射器から始めますが、深部への加熱に必要な波長域では効果が低下します。一方、金は全く異なります。赤外線の98％以上を反射してくれます。
石英製のケースや筐体に薄い金の層を塗ることで、エネルギーを集中させることができます。そうすれば、出力を上げることなく、ウェーハ上のエネルギー密度を大幅に高めることができます。結果として、電気代が削減され、作業のスピードも向上します。これは Win-Win の状況です。
適切なハードウェアの選定
実際の鍵は、ランプの形状にあります。私たちは高いエネルギー密度を実現するために、ランプを設計しています。そうすれば、ウェーハ全体に均一な熱分布が得られます。奇妙な冷え込みが発生することはありません。
しかし、注意点もあります。金は汚れに弱いのです。反射器に指紋や油の汚れがあるだけで、効果が台無しになり、ウェーハに冷え込みが生じます。環境をきれいに保つ必要があります。さもなければ、時間の無駄になってしまいます。
自分の設備で使えるようにする
私たちは、これらのランプを標準的なIRアレイの代替品として設計しました。既存のコントローラーに直接接続できます。
ただし、注意が必要です。熱分布が変わってしまいます。金がエネルギーを集中させるため、状況が厳しくなります。ウェーハが正確に焦点に位置していない場合、局所的な過熱が起こる可能性があります。
基板が焼けないように、Z軸の高さを調整する時間をかける必要があります。これはトレードオフです。エネルギーは大幅に向上しますが、位置決めの許容範囲は狭くなります。