水素センサー製造用ヒーター

装置の壁を加熱するのをやめて、センサーを加熱しましょう。 もし水素センサーの製造に携わったことがあるなら、熱分布の問題がどれほど厄介かご存知でしょう。ほとんどの加熱要素は、エネルギーをあらゆる方向に放出してしまいます。これでは効率が悪く、大量の電力が無駄になります。結果として、半導体製造装置は巨大...