スマートファブで効果的な赤外線加熱を実現するには インダストリー4.0向けのスマートファブを構築する場合、熱の扱い方を再考する必要があります。従来の抵抗式ヒーターでは不十分です。速度が遅すぎるのです。現代のウェーハ処理においては、即座に熱を供給できる装置が必要です。 だからこそ、私たちは赤外線シス...

ファブ内での乾燥処理におけるエネルギー監査：なぜ指向性赤外線が有効なのか ファブ内での乾燥処理について話しましょう。正確さが不可欠です。従来の対流加熱方式では、チャンバー全体が温められてしまい、部品周辺の壁や機器も一緒に熱くなってしまいます。まるでパンを焼くためにキッチン全体を温めてしまうようなも...

はじめに 半導体製造の核心となる部分について話しましょう。そこでは、高温が必要であり、しかも迅速に加熱する必要があります。ミスの余地も、停止時間も許されません。 私たちが開発した半導体用加熱ソリューションは、厳しい状況下でも生産ラインを止めないようにすることを念頭に設計されています。この装置は、高...