ゾーン別赤外線ヒーティングモジュール

製造現場では、よく知られている通り、焼成温度が0.2℃だけ変動しても、フォトレジストの特性は規定値から外れてしまいます。従来のホットプレートでは、ウェハ表面の温度分布の不均一さを解消するのが難しく、そのため制御範囲を厳しく設定し、常に温度の安定を図らなければなりません。私たちは、このような不安定性...