RTPシステム用のハロゲンランプ

ファブの現場では、温度変動は些細な問題ではありません。フォトレジストのソフトベークやハードベーク時に5℃もの温度変動があると、線幅の制御が失われてしまいます。また、RTP時の不均一な温度上昇は、接合部の形状を崩してしまいます。私たちは、このような変動を排除するために、RTP用のハロゲンランプを特別...