国際産業用ヒーター貿易ファブ

ファブフロアでは時計の針が止まることはない。リソグラフィトラックは稼働を続け、コート／ベイクモジュールはサイクルを繰り返し、サーマルバジェットは厳格な制約であり例外はない。ヒーターがドリフトし始めると、ソフトベイクおよびハードベイクの温度が目標からずれ、CD均一性が乱れ、スクラップが増え、スケジュ...