ファブランプ用クォーツガラスシールド

ファブフロアにおいて、フォトレジストのベイク再現性は基本条件にすぎない。ソフトベイクまたはハードベイク中に2℃のドリフトが発生すると、クリティカルディメンションの予算を速やかに圧迫し、それが意味するところは不良率の増加である。ファブのランプに装着された石英ガラスシールドは、ウェーハとフォトレジスト...