ファブ内の「ゴースト粒子」を防ぐ方法
クラス100のクリーンルームを常に清潔に保つためには、単にエアフィルターを交換するだけでは不十分です。半導体製造の現場で働いている人なら、本当の問題が何かわかるでしょう。それは、加熱要素そのものです。
一般的な赤外線ランプは問題を引き起こしやすいです。特に、不要な時に微小な汚染物質が放出されてしまいます。私たちは、高純度の合成石英と金の反射コーティングを組み合わせることでこの問題を解決しました。
実際の仕組みは以下の通りです。
石英管の裏側に金の層をスパッタリングして形成します。これは見た目を良くするためではありません。その金の層は熱鏡のように作用し、赤外線をウェーハの方向に反射させ、ランプ本体が過熱するのを防ぎます。
その結果、重要な場所での熱密度が高まり、ランプの端部分は低温のままです。
そして石英については、高純度のものを使用しています。高温環境下で金属不純物が溶出しないように、私たちは仕様に非常にこだわっています。そうすることで、「ゴースト粒子」が完璧なシリコンウェーハを壊すのを防げます。
設置時の注意点
これらのランプは精密機器ですが、集中した熱量は非常に強力です。金のコーティングによってエネルギーが一方向に向けられるため、ランプ本体の温度をしっかり管理する必要があります。冷却システムがそのような集中した熱に対応できない場合、装置が損傷する可能性があります。ですから、冷却システムが十分に機能するかを確認してください。
なぜこのような設計が必要なのか？
安価なランプは、接着剤や低品質の金属を使用しています。真空や超清浄な環境では、これらの材料はすぐに劣化したり、汚染物質を放出したりします。それは大変な問題です。
私たちの金コーティング済みのランプなら、そうした故障の原因を完全に排除できます。安定した、クリーンな熱源が得られ、生産ラインを壊す心配もありません。300mmのウェーハにほんの少しの汚れも許されないエンジニアにとって、これはより簡単で安全な作業方法です。