晶体玻璃灯罩

在晶圆厂车间，光刻胶烘烤的重复性是基本要求。软烘烤或硬烘烤过程中温度漂移2℃，会迅速侵蚀关键尺寸预算——这意味着良率会下降。晶圆厂灯具上的石英玻璃保护罩用于确保光刻胶接触处的热场稳定可靠。 核心要点 我们采用高纯度石英，因为其对短波和中波能量的吸收极低，保证灯输出和光谱稳定性符合要求。晶圆上的热均...