MEMS传感器晶圆干燥加热器

更好的MEMS传感器晶圆干燥方法 如果你们曾经处理过MEMS传感器晶圆，就会明白其中的难题所在。必须尽快去除晶圆上的水分，但同时又不能让水迹或热应力破坏整批晶圆。 长期以来，人们通常使用对流式烘箱来干燥晶圆。但说实话，这种方法效率极低——为了干燥几块晶圆，却不得不加热整个烘箱。这不仅耗时耗力，而且...