节能型晶圆加热器

在智能工厂中正确运用红外线加热技术 如果您正在打造面向工业4.0的智能工厂，那么就必须重新思考如何处理热量问题。传统的电阻式加热器已经无法满足需求——它们的加热速度太慢了。而在现代芯片加工过程中，需要的是能够迅速提供热量的加热方式。 因此，我们选择使用红外线加热系统。与其浪费时间去加热空气或炉腔壁...