光刻胶烘烤灯

在光刻工艺中，温度的微小变化都可能影响到最终产品的质量。如果温度偏差达到一两度，那么对关键尺寸的控制就会变得困难。此外，还会出现各种缺陷，而此时根本没时间去处理这些问题。与此同时，晶圆仍在不断堆积，导致热量持续累积，而时间却在不断流逝。我们设计的光刻胶烘烤灯就是为了避免这种情况发生。 从技术层面上...