遏制热量流失：更有效的晶圆传输方式 如果您曾待在半导体洁净室里，就会明白其中的难题。在晶圆移动的过程中，必须不断努力保持其温度稳定，这实在是一件麻烦事。 大多数人仍然使用传统的对流式加热器，但这其实是一种效率低下的方法。我们则选择将红外线加热系统直接安装在运输车上。这样做的好处在于，不仅能确保晶圆...

防止碎片飞溅：在红外灯故障时保护晶圆免受污染 在大规模半导体生产线上，红外灯发生破裂无疑是一场灾难。这不仅会导致生产中断，还会造成严重的污染——破损的石英管会使得玻璃碎片和金属颗粒四处飞溅，从而损坏晶圆。这简直就是一场灾难。 因此，我们设计了专用的洁净室用红外加热器，以便在碎片接触到产品之前将其拦...

如何防止洁净室内的加热器出现故障 在处理洁净室用烤箱时，常规的规则并不适用。绝对不能使用会释放气体或产生微小颗粒的加热元件——那根本行不通。我们使用专门的红外线灯来解决这个问题。不过，说实话，产生热量倒并不是最难的部分。 真正棘手的是电气方面的问题。 正因如此，我们绝不会凭猜测来决定产品的质量。每...