晶圆处理设备用温度传感器

在晶圆制造过程中减少碳排放：关于红外加热的真相 说实话，半导体生产设备确实非常耗能。如果从晶圆制造过程的碳足迹来看，最大的能源浪费往往发生在加热环节。多年来，我们一直都是将整个真空室当作一个巨大的烤箱来使用，这就好比为了加热一块披萨而让整个房子都变得温暖起来。 而采用定向红外灯系统则可以改变这一状...