LPCVD炉加热元件

在工厂车间，炉子的热漂移不仅仅是显示器上的一个数字。它表现为晶圆上的关键尺寸偏移和混乱的掺杂档案。一个热区的偏差，就会导致光刻胶烘烤变异和薄膜应力的损失，而这些问题总是无法完全一致。 技术上的重要性 我们的LPCVD炉加热元件旨在实现可重复的温度控制，目标是在负载范围内实现晶圆级热均匀性...