
无需再为100级洁净室中的颗粒问题而烦恼了。
如果您在100级(ISO 5标准)的洁净环境中工作,那么您一定知道颗粒污染所带来的困扰。哪怕有一小片碎片从加热元件上脱落下来,整批硅晶圆或医疗植入物就都报废了。
普通的线圈或电阻丝根本无法承受如此高的温度——它们会开始释放气体或出现碎裂现象。这实在是个棘手的问题。
我们则采用了不同的解决方案:我们使用高纯度的石英红外灯以及镀金反射器。这样,就不会有碎片或灰尘产生,也就不必再为此操心了。
为什么选择黄金?
大多数人会使用铝制反射器,但铝容易氧化。随着时间的推移,氧化后的铝会变成微小的粉尘,这些粉尘会飘落到工件上。而黄金则不会这样,它始终保持清洁状态。此外,黄金能以98%的效率反射红外辐射,这意味着热量会直接作用于需要加热的部件上,而不会让机器的框架过热,从而避免整个房间变热。
制造质量
我们使用熔融石英作为灯壳材料,因为这种材料能够承受巨大的温差而不破裂。在组装过程中,我们还去掉了所有的粘合剂和有机粘结剂,确保整个装置完全密封。这样一来,卤素气体就能被限制在灯泡内部,不会泄漏到外面。
需要注意的一些事项
这些灯的功率非常高。由于镀金反射器的效率高,目标温度会迅速上升。因此,您需要调整PID控制器,以避免温度超过设定值。另外,如果将这些灯安装在旧设备上,那么请务必检查电源供应情况。因为这些高功率灯泡在启动时会消耗大量电流。
安装使用
这些灯可以替代大多数高端洁净室中的加热器。最棒的是,这种加热源不会随时间而退化,这就使得过滤工作变得更加简单,因为不再需要担心加热器本身造成的污染问题了。