如何阻止制造过程中出现的“幽灵粒子” 要维持100级洁净室的清洁状态，仅仅更换空气过滤器是不够的。如果你从事过半导体加工工作，就会知道真正的难题在于加热元件本身。 大多数普通红外灯都有问题：它们会在你不希望其发光的时候释放出微量杂质。我们通过将高纯度合成石英与金反射涂层结合在一起来解决这个问题。...

停止浪费电能：为何镀金双管结构如此高效 在加热硅晶圆时，每一瓦特的能量都至关重要。如果使用普通的石英灯，那无疑是在浪费能源。因为这类灯具会将热量向四周散发，这样一来，大量电能就被用来加热炉壁，而无法真正用于加热晶圆本身。这显然是一种浪费。不过，我们找到了解决这个问题的方法。 黄金的神奇作用 我们在...