Mengurangkan penggunaan karbon di fasiliti pembuatan wafer: Kebenaran tentang penggunaan haba inframerah
Sejujurnya, alat-alat yang digunakan dalam proses pembuatan semikonduktor memerlukan banyak tenaga untuk berfungsi. Jika kita lihat jejak karbon yang dihasilkan oleh fasiliti pembuatan wafer, sebahagian besar pembaziran tenaga berlaku akibat penggunaan haba yang berlebihan. Selama ini, kita hanya memanaskan seluruh bilik vakum tersebut seperti sebuah oven besar. Ini sama saja seperti memanaskan seluruh rumah hanya untuk memanaskan sepotong pizza sahaja.
Dengan beralih kepada sistem lampu inframerah yang lebih efisien, keadaan ini dapat diatasi. Daripada memanaskan keseluruhan bilik vakum, haba akan disalurkan tepat ke kawasan yang diperlukan oleh wafer tersebut.
Mengapa inframerah berkesan?
Ini disebabkan oleh lampu inframerah yang menggunakan gelombang pendek. Lampu ini sangat cepat bertindak balas; ia akan memanaskan permukaan wafer serta-merta setelah kuasa dialihkan kepadanya. Oleh kerana tidak perlu bergantung pada proses konveksi, tenaga dapat disalurkan secara langsung. Tidak perlu lagi membazir tenaga sambil menunggu bilik vakum mencapai suhu yang ditetapkan. Masa yang diperlukan untuk memanaskan bilik vakum juga dapat dikurangkan.
Cara mengatasi masalahnya
Masalahnya ialah lampu inframerah yang berkuasa tinggi akan menghasilkan haba yang sangat tinggi. Walaupun haba ini bagus untuk wafer, ia boleh merosakkan komponen-komponen lain dalam fasiliti tersebut. Anda perlu memastikan sistem penyejukan berfungsi dengan baik. Jika sistem penyejukan tidak dapat menghilangkan haba yang berlebihan, sensor-sensor akan menjadi tidak tepat. Dan apabila itu berlaku, kualiti proses pembuatan wafer akan menurun.
Mencipta “kilang hijau” yang sebenar
Dengan menggunakan inframerah, kita dapat mengelakkan pembaziran tenaga. Dengan memilih spektrum gelombang yang sesuai dengan apa yang diserap oleh wafer, kita dapat mengurangkan pembaziran tenaga. Ini sangat berguna terutamanya semasa proses pembakaran dan pengeringan wafer. Selain itu, kelajuan pengeluaran juga meningkat, dan penggunaan tenaga juga berkurangan. Ini merupakan cara yang logik untuk mengurangkan pembaziran dan meningkatkan kecekapan pengeluaran wafer.