Inframerah berbanding udara panas: Adakah ini cara yang lebih baik untuk memanaskan wafer?
Jika anda masih bergantung pada udara panas untuk memanaskan wafer anda, sebenarnya anda sedang menunggu masa yang lama. Ini kerana udara panas menggunakan prinsip konveksi – anda memanaskan udara terlebih dahulu, dan kemudian udara tersebut pula yang memanaskan wafer. Ia merupakan cara yang tidak efisien, dan ia menyebabkan kelewatan dalam proses pemrosesan.
Pemanasan menggunakan inframerah pula berbeza. Ia menggunakan tenaga radiasi yang mengenai permukaan wafer secara langsung. Tiada proses perantaraan, jadi tiada keperluan untuk menunggu.
Kos tersembunyi akibat penantian
Dalam persekitaran pemprosesan yang memerlukan ketepatan tinggi, setiap saat yang dihabiskan untuk menunggu merupakan kerugian yang besar. Dengan penggunaan udara panas, anda perlu menunggu sehingga suhu bilik mencapai tahap yang stabil. Proses ini memerlukan beberapa minit.
Lampu inframerah pula boleh digunakan dalam masa beberapa saat sahaja. Dengan menghilangkan masa menunggu tersebut, kadar pengeluaran akan meningkat. Proses pemprosesan akan menjadi lebih efisien.
Menentukan jarak yang sesuai
Anda tidak boleh sekadar meletakkan lampu inframerah di dalam ketuhar konveksi lama dan berharap segalanya akan berjalan lancar. Anda perlu memastikan jarak yang sesuai antara lampu dan wafer. Jika lampu terlalu dekat, ia akan menyebabkan kawasan tertentu pada wafer menjadi terlalu panas, atau paling buruk, wafer tersebut akan rosak. Namun, jika lampu terlalu jauh, tenaga haba yang diberikan akan berkurangan, dan masa pemprosesan akan bertambah. Ia merupakan proses yang memerlukan keseimbangan yang tepat.
Kami biasanya menyelesaikan masalah ini dengan menyesuaikan panjang gelombang dan kedudukan lampu. Gelombang pendek inframerah dapat meresap lebih dalam ke dalam bahan, manakala gelombang sederhana pula sesuai untuk memanaskan permukaan wafer. Anda perlu memastikan jarak yang sesuai dengan kuasa yang diperlukan.
Keseimbangan antara kelajuan dan kestabilan
Masalahnya adalah, inframerah memang cepat, tetapi ia hampir tidak mempunyai inersia termal. Sebaliknya, bilik yang menggunakan udara panas mampu mengekalkan haba untuk jangka masa yang lama. Sistem inframerah pula akan berhenti bekerja sebaik sahaja kuasa diputuskan. Ini memberikan kawalan yang sangat baik terhadap suhu, tetapi ia memerlukan penyesuaian PID yang tepat. Jika sensor tidak berfungsi dengan baik, suhu akan melampaui had yang ditetapkan, dan keseluruhan wafer akan rosak sebelum anda sempat menyedarinya. Untuk menjaga kestabilan, anda memerlukan termokopel yang responsif. Tiada cara pintas di sini.