Pada lini pengeluaran 300mm ini, pengering bukanlah sesuatu yang boleh diabaikan. Ia merupakan langkah terakhir dalam proses pemanasan sebelum wafer siap diproses. Sebarang perbezaan suhu yang sedikit semasa proses pemanasan, atau kehadiran zarah-zarah dari lampu yang sudah usang, akan menyebabkan hasil pengeluaran menjadi tidak konsisten. Kami merancang lampu pengering wafer ini berdasarkan satu syarat penting: memastikan suhu wafer berada dalam julat ±0.1°C, tanpa adanya kontaminasi.
Apa yang penting dalam sistem ini
Kami menggunakan pengeluar cahaya inframerah gelombang pendek untuk memastikan pemanasan yang cepat dan tepat. Suhu dapat dikawal dengan tepat tanpa sebarang kelewatan. Jendela kuarsa yang dioptimasikan untuk digunakan pada lini 300mm, serta reka bentuk reflektor yang efektif, membantu memastikan suhu yang seragam di seluruh permukaan wafer. Sistem ini juga sesuai digunakan dalam bilik bersih kelas 1–100, dan direka agar tidak menghasilkan zarah-zarah berbahaya. Sistem kawalan berkelajuan tinggi memastikan hasil pengeluaran yang konsisten, sehingga setiap wafer mendapat rawatan yang sama setiap kali diproses.
Mengapa ia penting dalam proses pemprosesan fotoresist
Suhu pemanasan yang sesuai sangat penting untuk proses penghapusan bahan pelarut, pengurangan tekanan pada lapisan fotoresist, serta kawalan dimensi yang tepat. Lampu ini memastikan proses pemanasan berjalan dengan lancar, sehingga mengurangkan keperluan untuk memproses semula wafer. Respons yang cepat membolehkan masa proses dipendekkan, sementara penggunaan tenaga juga dikurangkan. Hasilnya adalah hasil yang konsisten, dengan lebih sedikit masalah, penyelenggaraan yang minimum, dan lebih sedikit wafer yang rosak.
Apa yang perlu dipertimbangkan semasa pemasangan
Lampu ini direka khusus untuk digunakan dengan wafer berukuran 300mm, serta untuk digunakan dalam bilik bersih yang standard. Namun, antaramuka mekanikal serta sistem penyejukan dan pengudaraan perlu disediakan dengan baik semasa pemasangan. Stabiliti keluaran bergantung pada bekalan kuasa yang stabil dan suhu air penyejuk yang konsisten. Oleh itu, ujian pendek perlu dilakukan semasa pemasangan. Luangkan masa satu hari untuk proses integrasi, kemudian lakukan kalibrasi sekali sahaja mengikut spesifikasi proses yang ditetapkan.