Pada line 200mm, satu langkah pembersihan yang tidak sempurna boleh merosakkan kualiti hasil pengeluaran. Air yang tertinggal selepas proses pembersihan akan meninggalkan kesan pada lapisan photoresist. Selain itu, proses pembakaran yang tidak betul juga boleh menyebabkan ketidakstabilan dimensi komponen yang dihasilkan. Perubahan kecil yang dilakukan oleh operator tidak akan dapat menyelesaikan masalah ini. Yang diperlukan ialah modul pengeringan yang mampu berfungsi dengan konsisten dari masa ke masa.
Apa yang penting di sebaliknya
Modul pengeringan wafer 200mm kami direka untuk memastikan kawalan suhu yang tepat serta mengurangkan pencemaran. Kestabilan suhu pada permukaan wafer dikekalkan dalam lingkungan ±0.1°C, agar proses pembakaran berjalan secara konsisten dari satu batch ke batch yang lain. Sistem ini sesuai digunakan dalam bilik bersih tahap 1–100, dan direka untuk mengelakkan penghasilan zarah-zarah yang boleh merosakkan kualiti produk. Dalam operasi 24/7, reka bentuk ini bertujuan untuk mengelakkan gangguan operasi, dengan jangka hayat yang mencapai puluhan ribu jam. Ketepatan operasi merupakan aspek yang sangat penting.
Mengapa ia sesuai untuk digunakan
Modul ini sesuai digunakan dalam proses pemprosesan wafer 200mm, bermula daripada proses pengeringan selepas pembersihan hingga ke langkah pembakaran photoresist. Kawalan suhu yang tepat membantu mengurangkan kecacatan pada lapisan photoresist akibat perubahan suhu yang ekstrem. Pengeringan yang konsisten pula membantu mengelakkan variasi yang boleh menyebabkan kerja-kerja pembetulan yang berulang-ulang. Hasilnya ialah jumlah bahan buangan yang berkurangan, penggunaan mesin yang lebih efisien, dan dimensi komponen yang tetap stabil. Kami juga dapat mengawal penggunaan tenaga tanpa mengorbankan ketepatan operasi, sehingga kos operasi tetap dapat dikawal.
Butiran praktikal
Pemasangan modul ini perlu disesuaikan dengan keperluan sistem pengudaraan dan getaran di tempat pemprosesan. Modul ini akan berfungsi dengan baik apabila disambungkan ke sumber kuasa yang stabil. Penyelenggaraan berkala seperti pemeriksaan penapis dan kalibrasi sensor dapat memastikan prestasi modul ini tetap konsisten dari masa ke masa. Waktu penyelenggaraan perlu dirancang dengan teliti. Walaupun ia merupakan proses yang ringkas, ia merupakan perkara yang mustahil untuk diabaikan.