Modul pengeringan wafer 200mm
Pada line 200mm, satu langkah pembersihan yang tidak sempurna boleh merosakkan kualiti hasil pengeluaran. Air yang tertinggal selepas proses...
Modul pemanasan inframerah berzon
Di bilik pengeluaran, anda pasti tahu prosedurnya: perubahan suhu sebanyak 0.2°C sahaja sudah cukup untuk merosakkan kualiti permukaan wafer...