Di bilik pengeluaran cip, perubahan suhu bukanlah sesuatu yang boleh diabaikan. Perubahan suhu sebanyak 5°C semasa proses pemanasan fotoresist boleh merosakkan kawalan ketebalan garisan pada permukaan cip. Selain itu, perubahan suhu yang tidak seragam juga boleh merosakkan struktur lapisan logam pada cip tersebut. Kami telah mereka bentuk lampu halogen khas untuk proses RTP agar perubahan suhu dapat dikurangkan sepenuhnya.
Apa yang benar-benar penting
Lampu-lampu ini menggunakan pemancar halogen berfrekuensi tinggi yang terletak di dalam selubung kuarza. Ini membolehkan pemanasan yang cepat dan efisien, dengan masa tindak balas kurang dari satu saat. Kriteria utama yang perlu dipenuhi ialah keseragaman suhu, iaitu ±0.1°C di seluruh permukaan cip, yang diukur secara langsung, bukan secara anggaran. Keserasian dengan bilik bersih juga merupakan faktor penting; bahan-bahan yang digunakan memenuhi standard Kelas 1–100, antaramuka yang tertutup rapat, dan sistem yang mencegah pelepasan gas dari lampu. Hasilnya ialah tiada pembentukan zarah-zarah berbahaya, jadi kualiti cip tidak akan terjejas akibat perubahan suhu.
Mengapa ini penting dalam proses litografi dan penggunaan fotoresist
Suhu merupakan faktor penting yang menentukan dimensi-dimensi kritikal cip. Dengan kawalan suhu sekitar ±0.1°C, proses pemanasan dapat dilakukan dengan lebih tepat, dan hasilnya akan konsisten setiap kali. Dalam proses RTP, kelajuan pemanasan yang tinggi dan keseragaman suhu yang baik membantu melindungi lapisan logam yang tipis pada cip. Ini seterusnya membantu mengurangkan keperluan untuk melakukan proses pembetulan ulang, serta menjadikan masa proses lebih stabil. Kecekapan lampu juga penting – pemindahan tenaga yang efisien dan kitaran kerja yang tepat membantu mengurangkan penggunaan tenaga.
Apa yang perlu diperhatikan semasa pemasangan
Perlu diberi perhatian kepada aliran udara penyejuk, polariti, dan tork pemasangan lampu. Ini penting untuk memastikan sambungan lampu tetap sempurna dan pemosisian optiknya tepat. Lampu ini boleh digunakan bersama ruang RTP biasa, tetapi geometri reflektor perlu disesuaikan agar sesuai dengan kawasan panas yang dituju.
Perlu ada penyesuaian setelah 2,000 jam penggunaan. Walaupun perubahan suhu yang berlaku kecil, ia tetap perlu diambil kira. Kami menetapkan jadual untuk melakukan penyesuaian tersebut.