在200毫米口径的生产线上，哪怕只有一道湿处理步骤出错，都可能严重影响产品良率。清洗后残留的水分会在光刻胶上形成水印，而后续的烘烤过程则会导致关键尺寸控制失准。仅仅依靠操作人员的调整是无法解决这个问题的——真正需要的，是那种能够在连续多轮生产中始终保持稳定性能的干燥模块。 核心在于精确的热控制与污...

在晶圆制造车间里，大家都是这么做的：如果烘烤温度出现0.2℃的偏差，那么光阻层的性能就会超出标准范围，从而无法使用。传统的加热方式难以解决边缘温度不均匀的问题，因此需要更严格的控制参数来确保温度稳定。我们设计的这种分区红外加热模块，能够消除在晶圆处理过程中出现的温度波动——也就是在晶圆本身所在的位...