超纯水加热灯

在晶圆厂车间，光刻胶烘烤不仅仅是峰值温度的问题，更关键的是晶圆表面的热均匀性。0.5°C 的温度漂移就可能导致关键尺寸（CD）偏差，进而影响良率是否达标。我们设计的超纯水加热灯，旨在保持热分布稳定，确保光刻胶整个表面在每个循环中温度一致。 技术关键在于控制。我们采用石英封装的短波卤素发射器，配合低...