포토레지스트 건조 램프

리소그래피 공정에서는 알다시피, 온도가 단 1~2도만 변해도 치명적인 결과를 초래할 수 있습니다. 그로 인해 정밀한 치수 제어가 어려워집니다. 또한, 웨이퍼들이 줄을 서 있으면서 열량이 계속 소모되고, 시간은 계속 흘러갑니다. 우리는 이러한 문제를 해결하기 위해 특별...