クリーンルーム用ベンチ用赤外線ランプ

ランプが壊れてしまうと、生産効率が著しく低下してしまいます。クリーンルームで高負荷の生産を行っているときには、ランプの故障は大きな問題です。単に部品を交換して作業を再開するだけでは済みません。 もし石英管が破裂してしまうと、ガラスの破片やハロゲンガスがウェーハの上に降り注ぎます。これは即座の災害で...