クリーンルームの設備をアップグレードし 工場を拡張する

装置を加熱するのをやめよう：ウエハーを効率的に加熱する新しい方法 半導体製造工場で働いたことがある人なら、その苦労はよくわかるでしょう。ウエハーや基板を所定の温度まで上げる必要がありますが、機械の内部がオーブンのようになってしまうのは避けたいものです。 従来の放射型ヒーターは、この点で問題がありま...