
在2.5D/3D封装工艺中,这类加热器不会导致结构出现故障,因为问题并不在于其设计本身——真正的问题在于热漂移。只要填充材料的固化过程中温度出现几度的波动,产品的合格率就会急剧下降。这种返工过程会耗费大量时间,还会浪费材料。我们设计这款2.5D/3D集成电路封装用加热器,就是为了确保每轮加工过程中的温度控制始终准确无误。
它的核心优势就是重复性高。石英-卤素短波发射器能够提供快速且可控的响应,同时具有稳定的光谱输出特性。而碳纤维加固的加热器本体则能在高温下保持结构稳定。这样,芯片工作区的温度均匀性可控制在±0.1°C以内,无论是在软烘烤还是硬烘烤过程中,其温度稳定性都保持在同一水平。该加热器可以24/7持续工作,在1级至100级的洁净室环境中也不会产生任何颗粒物。其性能检测间隔为5,000小时以上,一旦参数设置完成,其过程能力指数就能保持在1.67以上。
它之所以适合用于2.5D/3D封装工艺,是因为它能够消除温度这一变量带来的影响。光刻胶的烘烤效果能够保持在规定范围内,TSV填充及填充材料的固化也能达到预期效果。由于热梯度得到了有效控制,因此芯片的翘曲现象也会减少。这样一来,测试周期变短,废品率降低,而且由于升温速度快,单位产品的能耗也有所下降。
安装过程很简单,不过需要仔细规划接口部分。需确保加热器的尺寸与对应的夹具和工具相匹配,安装完成后还需花费30分钟进行全面的温度校准。该加热器可与标准的4–28伏直流控制器以及SMbus/RS-485通讯协议配合使用。只需确认腔体内的气体成分——如果环境中的氧气含量较高,则需要选择合适的发射器材料。只要做好校准,整个加工过程就能得到精确控制。