ในกระบวนการผลิตแผ่นวงจรขนาด 300 มม. เครื่องอบแห้งไม่ใช่อุปกรณ์ที่สามารถมีหรือไม่มีก็ได้ แต่เป็นอุปกรณ์สำคัญที่ใช้ตรวจสอบคุณภาพของแผ่นวงจรก่อนที่จะส่งออกไป หากมีความไม่สม่ำเสมอของอุณหภูมิเพียงเล็กน้อยในระหว่างการอบแผ่นวงจร หรือมีเศษสิ่งสกปรกจากหลอดไฟที่เสื่อมสภาพ ก็จะทำให้กระบวนการผลิตแผ่นวงจรล้มเหลวได้ เราออกแบบหลอดอบแห้งสำหรับแผ่นวงจรขนาด 300 มม. โดยคำนึงถึงข้อกำหนดสำคัญอย่างหนึ่ง นั่นคือการรักษาอุณหภูมิของแผ่นวงจรให้อยู่ในช่วง ±0.1°C โดยไม่มีสิ่งสกปรกเข้ามาปนเปื้อน
สิ่งที่สำคัญภายในระบบ
เราใช้เครื่องกำเนิดรังสีอินฟราเรดความยาวคลื่นสั้น เพื่อให้เกิดการทำความร้อนอย่างรวดเร็วและเฉพาะจุด ทำให้อุณหภูมิสามารถถึงค่าที่กำหนดได้ทันที นอกจากนี้ หน้าต่างควอตซ์ที่ออกแบบมาสำหรับแผ่นวงจรขนาด 300 มม. ยังช่วยให้มีการกระจายความร้อนอย่างสม่ำเสมอทั่วทั้งแผ่นวงจร จึงช่วยลดความแตกต่างของอุณหภูมิระหว่างขอบและตรงกลางแผ่นวงจรได้ ระบบนี้ยังเหมาะสำหรับการใช้งานในห้องปลอดฝุ่น โดยใช้วัสดุระดับ Class 1–100 และมีระบบป้องกันสิ่งสกปรก นอกจากนี้ ระบบนี้ยังสามารถทำงานได้โดยไม่ก่อให้เกิดเศษสิ่งสกปรกขึ้นมา การควบคุมแบบวงจรปิดช่วยให้ได้ผลลัพธ์ที่สม่ำเสมอในแต่ละครั้งที่มีการผลิต
เหตุใดระบบนี้จึงมีความสำคัญในกระบวนการผลิตแผ่นวงจร
อุณหภูมิในการอบแผ่นวงจรมีผลโดยตรงต่อการกำจัดสารละลาย และความเครียดของแผ่นวงจร ซึ่งส่งผลต่อความแม่นยำของขนาดแผ่นวงจร หลอดอบนี้ช่วยให้อุณหภูมิในการอบอยู่ในระดับที่ต้องการ ทำให้ลดการต้องแก้ไขแผ่นวงจรซ้ำๆ และเพิ่มอัตราการผลิตที่ดีขึ้น นอกจากนี้ การตอบสนองของระบบที่รวดเร็วยังช่วยลดเวลาในการผลิต และการใช้พลังงานก็น้อยลงด้วย ดังนั้นจึงได้ผลลัพธ์ที่สม่ำเสมอในแต่ละครั้งที่มีการผลิต พร้อมทั้งมีการแจ้งเตือนน้อยลง การบำรุงรักษาก็น้อยลง และมีเศษสิ่งสกปรกน้อยลงด้วย
สิ่งที่ควรพิจารณาเมื่อติดตั้ง
หลอดอบนี้ถูกออกแบบมาสำหรับการใช้งานกับแผ่นวงจรขนาด 300 มม. และสามารถนำมาใช้ร่วมกับห้องปลอดฝุ่นได้ แต่อินเทอร์เฟซทางกลและระบบสนับสนุนต่างๆ เช่น ไฟฟ้า ระบบทำความเย็น และระบบระบายอากาศ จำเป็นต้องถูกปรับให้เหมาะสมในระหว่างการติดตั้ง ความเสถียรของระบบขึ้นอยู่กับไฟฟ้าที่มีคุณภาพดี และอุณหภูมิของน้ำที่ใช้ในระบบทำความเย็นที่คงที่ ดังนั้น การติดตั้งควรมีการตรวจสอบความเสถียรของระบบในช่วงเวลาสั้นๆ หลังจากการติดตั้งเสร็จสิ้น และควรมีการปรับแต่งระบบให้เหมาะสมกับกระบวนการผลิตของคุณด้วย