บนพื้นที่ผลิต ภาวะความซ้ำซ้อนของการอบ photoresist เป็นสิ่งที่ต้องยอมรับ การเบี่ยงเบนของอุณหภูมิ 2°C ระหว่างการอบแบบ soft bake หรือ hard bake จะส่งผลกระทบต่องบประมาณมิติวิกฤตอย่างรวดเร็ว—และคุณก็ทราบดีว่านั่นหมายถึงอะไร: ผลผลิตลดลง ชิลด์แก้วควอตซ์บนหลอดไฟในโรงงานมีไว้เพื่อรักษาความถูกต้องของสนามความร้อนในจุดที่เวเฟอร์สัมผัสกับ photoresist
สิ่งที่สำคัญภายใต้ระบบ
เราใช้ควอตซ์บริสุทธิ์สูงเพราะมันส่งผ่านพลังงานคลื่นสั้นและคลื่นกลางโดยมีการดูดซับต่ำ ทำให้กำลังไฟหลอดและความเสถียรของสเปกตรัมยังคงอยู่ในระดับที่ต้องการ ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิทั่วเวเฟอร์อยู่ที่ ±0.1°C ซึ่งเป็นฐานสำหรับการไหลของ photoresist ที่สม่ำเสมอและการขจัดตัวทำละลายที่สะอาด วัสดุนี้เหมาะสมกับห้องสะอาดระดับ Class 1–100 และการออกแบบช่วยลดการเกิดอนุภาคเป็นศูนย์ในระหว่างการทำงาน—จึงทำให้ชั้น photolithography สะอาด คุณจะได้รับความน่าเชื่อถือตลอด 24 ชั่วโมงต่อวัน 7 วันต่อสัปดาห์โดยไม่มีเวลาหยุดทำงานที่ไม่คาดคิด รวมถึงอายุการใช้งานที่ยาวนานและการส่งออกที่มั่นคงเป็นเวลาหลายพันชั่วโมง
เหตุผลที่เหมาะสมกับการทำงาน lithography ของเรา
คุณดำเนินการด้วยงบประมาณความร้อนที่เข้มงวด ชิลด์นี้ช่วยรวมพลังงานจากหลอดไฟ ลดจุดร้อน และทำให้โปรไฟล์การอบทั้ง soft bake และ hard bake ซ้ำได้ ผลลัพธ์ที่ได้คือการจัดชั้นที่แม่นยำขึ้น การทำซ้ำงานซ่อมแซมลดลง และของเสียลดลง คุณยังจะเห็นการใช้พลังงานลดลงเนื่องจากหลอดไฟทำงานอย่างมีประสิทธิภาพ และความทนทานของชิลด์หมายถึงอะไหล่น้อยลงและเวลาหยุดซ่อมบำรุงน้อยลง
สิ่งที่ต้องระวังในการติดตั้งและบำรุงรักษา
การติดตั้งต้องอาศัยการจัดวางที่แม่นยำกับแกนหลอดไฟและการเชื่อมต่อที่สะอาดกับตัวติดตั้ง จัดการด้วยขั้นตอนที่สอดคล้องกับห้องสะอาด รอยขีดข่วนเล็กๆ จะทำให้แสงกระจายและส่งผลเสียในภายหลัง ให้เลือกชิลด์ให้ตรงกับชนิดหลอดและแรงดันไฟฟ้า—หากไม่ตรงกันจะทำให้สเปกตรัมเปลี่ยนและส่งผลต่อความสม่ำเสมอ กำหนดตารางตรวจสอบเพื่อยืนยันการส่งผ่านและความสมบูรณ์ โดยเฉพาะเมื่อใช้งานในรอบกำลังสูง