ในกระบวนการพิมพ์ด้วยเทคโนโลยีลิโธกราฟีนั้น คุณก็รู้ดีว่ามันเป็นอย่างไร การอบด้วยความร้อนที่ไม่สม่ำเสมอแม้เพียงหนึ่งหรือสององศา ก็จะทำให้การควบคุมขนาดของชิ้นส่วนที่ผลิตออกมาเสียไป นอกจากนี้ยังมีปัญหาเรื่องสิ่งสกปรกที่เกิดขึ้น และไม่มีใครมีเวลามาจัดการกับปัญหาเหล่านี้เลย ในขณะเดียวกัน วงแหวนชิปก็ยังคงอยู่ในคิวการผลิตต่อไป ทำให้ใช้พลังงานมากขึ้นเรื่อยๆ แต่เราได้ออกแบบโคมไฟสำหรับการอบด้วยความร้อนให้สามารถทำงานได้อย่างมีประสิทธิภาพ
สิ่งที่สำคัญทางเทคนิค
เราใช้โคมไฟฮาโลเจนที่มีคลื่นความถี่สั้น พร้อมกับการปล่อยแสงในช่วงอินฟราเรด เพื่อส่งพลังงานเข้าไปในสารฟอโตเรซิสต์โดยตรง ทำให้สามารถควบคุมอุณหภูมิได้อย่างแม่นยำ และทำให้ความสม่ำเสมอของชิ้นส่วนอยู่ในช่วง ±0.1°C ในขนาด 300 มิลลิเมตร ระบบนี้ทำงานในห้องที่มีมาตรฐานความสะอาดระดับ Class 1–100 และไม่มีอนุภาคใดๆ เข้ามาเลย เนื่องจากมีการตรวจสอบแบบเรียลไทม์ และมีการออกแบบที่ช่วยลดการปล่อยก๊าซออกมา ความสม่ำเสมอของผลิตภัณฑ์ยังคงอยู่ ไม่ว่าจะเป็นการผลิตในช่วงเวลาใด หรืออายุของโคมไฟเป็นอย่างไรก็ตาม ในกระบวนการผลิตจำนวนมาก เราสามารถทำให้ระบบทำงานได้ตลอด 24 ชั่วโมง โดยไม่มีเวลาหยุดทำงานเลย
เหตุผลที่วิธีนี้ได้ผลทั้งในกระบวนการอบด้วยความร้อนแบบอ่อนและแบบแข็งก็คือ ความแม่นยำของอุณหภูมิจะเป็นตัวกำหนดลักษณะของสารฟอโตเรซิสต์ ความสามารถในการเกาะติดของสารฟอโตเรซิสต์กับพื้นผิว และความสามารถในการกัดสารบนพื้นผิวด้วย โคมไฟนี้ช่วยลดเวลาการอบด้วยความร้อน ทำให้ข้อบกพร่องที่เกิดจากการรอคิวลดลง และความกว้างของชิ้นส่วนก็ยังคงสม่ำเสมอ นอกจากนี้ การใช้พลังงานก็ลดลง เพราะความร้อนถูกส่งไปยังสารฟอโตเรซิสต์โดยตรง ไม่ได้ถูกนำไปใช้ในการทำให้ห้องอบร้อนขึ้น ระยะเวลาในการบำรุงรักษาก็ยาวนานขึ้น เพราะโคมไฟมีโครงสร้างที่ช่วยลดจุดที่มีอุณหภูมิสูง และความเครียดทางความร้อนที่เกิดขึ้น ผลลัพธ์ก็คือ อัตราการผลิตที่สูงขึ้น มีชิ้นส่วนที่ต้องทำใหม่น้อยลง และสามารถวางแผนเวลาการผลิตได้อย่างแม่นยำ
นี่คือสิ่งที่ควรคำนึงถึง โคมไฟเหล่านี้ต้องการอากาศที่สะอาดและแห้ง หรืออากาซไนโตรเจน เพื่อให้เปลือกควอตซ์ไม่มีน้ำค้าง และเพื่อรักษาความสม่ำเสมอของสเปกตรัมแสง โคมไฟเหล่านี้สามารถใช้ร่วมกับอุปกรณ์มาตรฐานของผู้ผลิตได้ แต่การติดตั้งจะต้องเหมาะสมกับความจุความร้อนของอุปกรณ์และรูปร่างของสถานีการอบด้วยความร้อน ควรมีการปรับเวลาการอบด้วยความร้อนให้เหมาะสมในช่วงการทดสอบ เพื่อให้ได้ความสม่ำเสมอของผลิตภัณฑ์