なぜUHP赤外線硬化技術が鉛フリーチップの製造に適しているのか
半導体を製造する際、最も避けたいのは、わずかな残留物が製品の品質を損ねることです。それは本当に厄介な問題です。そのため、私たちは超高純度のUHP赤外線ランプを利用しています。
化学的な溶剤や燃焼ガスを使わないため、簡単に機能します。このため、「鉛フリー」や「グリーン」などの基準を容易に満たすことができます。
熱が実際にどのように伝わるか
多くの人は対流式のオーブンを思い浮かべますが、UHPランプは異なります。短波長の赤外線を直接基板に当てるのです。
寒い日に太陽光が肌に当たるのと同じです。空気は依然として冷たいですが、すぐに熱を感じます。
空気を動かす代わりに光子を使ってエネルギーを伝えるため、ウェーハが汚染されるリスクが大幅に減ります。また、加熱速度も非常に速いです。大規模な熱伝達を待つ必要がないため、電力の消費も大幅に削減されます。
材料に関する詳細
私たちは通常のガラスを使用しません。半導体製造の過酷な環境では、ガラスはガスを放出したり、破壊されたりしてしまいます。その代わり、高純度の合成石英を使用します。
フィラメントの設定も完璧に調整されており、正確なタイミングで硬化剤を活性化させることができます。そうすれば、ウェーハが焦げることもありません。
また、波長を調整するために特殊なコーティングも施されています。これが秘密です。これにより、熱がフォトレジスト層に効果的に浸透し、シリコン基板が損傷することはありません。ただし、ランプのピーク出力が使用している化学物質と合致していることが重要です。
注意すべき点
このような高出力のランプは、大量の熱を発生させます。そのため、電源装置や冷却システムに負担がかかります。冷却が不十分だと、ランプの寿命も短くなってしまいます。高密度な配置で使用する前に、必ず空気の流れを確認してください。
良い点は、これらのランプは古い加熱要素の代替品として機能するということです。ガス式の加熱システムの環境負荷を避け、床もきれいに保ち、処理時間も短縮できます。