בתהליך הייצור של מעגלים 2.5D/3D, החלקים האלו לא קורסים בגלל שהרעיון שלהם שגוי – הם נהרסים כתוצאה משינויים תרמיים. שינוי של כמה מעלות בטמפרטורה יגרום לירידה חדה באיכות המוצר. עבודות תיקון מסוג זה גוזלות שעות רבות וגורמות לבזבוז חומרים. פיתחנו את מכשיר החימום הזה כדי לשמור על יציבות תרמית בכל מחזור ייצור.
העיקר במכשיר הזה הוא היכולת לחזור על אותו תהליך שוב ושוב. גלאי הקוורץ-הלוגן מאפשרים תגובה מהירה וניתנת לשליטה, וגוף החימום העשוי מסיבי פחמן נשאר יציב גם תחת עומס תרמי. ניתן להשיג אחידות של ±0.1°C באזור הפעיל, והיציבות של טמפרטורת החימום נשמרת גם במהלך תהליכי חימום שונים. המכשיר יכול לפעול 24/7, ולא נוצרות חלקיקים בחדרי ייצור ברמת ניקיון 1–100. בדיקות היציבות של הטמפרטורה נעשות אחרי 5,000 שעות של פעולה, ולאחר שההגדרות נקבעו, ערך Cpk נשאר מעל 1.67.
המכשיר הזה מתאים לשימוש בתהליכי ייצור 2.5D/3D, מכיוון שהוא מבטל את הטמפרטורה כמשתנה שיכול לגרום לבעיות. פרופילי החימום של החומרים השונים נשארים בגבולות המותרים, והחימום של החומרים מתבצע בצורה מדויקת. העיוותים בחומרים פוחתים, מכיוון שהגרדיאנט התרמי נשלט. תהליכי האימות נעשים בזמן קצר יותר, כמות החומרים הבזבוזיים פוחתת, וצריכת האנרגיה ליחידת חומר פוחתת בזכות היעילות הגבוהה של המכשיר.
ההתקנה של המכשיר פשוטה, אך יש להתחשב באינטגרציה שלו עם הציוד האחר. יש להתאים את גודל המכשיר לציוד שלכם, ויש להקדיש 30 דקות לכיול תרמי מלא לאחר ההתקנה. המכשיר יכול לפעול עם בקרים סטנדרטיים של 4–28 VDC, ועם ציוד SMbus/RS-485. יש לוודא שהתערובת של הגזים בחדר הייצור מתאימה – באטמוספירות עשירות בחמצן יש צורך בחומר מסוים לחלון הפליטה של המכשיר. לאחר כיול המכשיר, התהליך נשאר תחת שליטה.