מנורת חימום למים טהורים במיוחד

בקו הייצור, אפיית הפוטורזיסט אינה מסתכמת בטמפרטורת שיא בלבד. החשוב הוא אחידות תרמית לאורך כל המשטח של הוויפר. סטייה של 0.5°C יכולה להזיז את ה-CD bias...