בחדר הייצור, כמו שאתם יודעים, יש דרישות קפדניות: שינוי של 0.2°C בטמפרטורת האפייה יכול לגרום לכך שהתכונות של החומר הפוטורזיסטיבי יצאו מהטווח המותר, והחומר יהפוך לבלתי תקין. המערכות הרגילות לחימום מתמודדות עם בעיות של אי-אחידות בטמפרטורה ברחבי הוופר, ולכן יש צורך בשליטה קפדנית יותר. אנו פיתחנו מודול חימום באינפרא-אדום שמאפשר שליטה מדויקת בטמפרטורה – דווקא באזורים החשובים ביותר של הוופר.
מה חשוב באמת? חימום באינפרא-אדום בגלים קצרים, עם שליטה אוטונומית בכל אזור, מאפשר אחידות של ±0.1°C בטמפרטורה על פני הוופר. הטמפרטורה מגיעה לרמה הרצויה תוך שניות בודדות, כך שזמן החימום קצר יותר, וניתן לשלוט בתהליך בצורה טובה יותר. המודול יכול לפעול בחדרי ניקיון מדרגה 1–100, ללא יצירת חלקיקים, וזאת בזכות מעקב בזמן אמת ועיצוב שמפחית את פליטת הגזים. זמן הפעולה הוא 24/7, ושעות העבודה של המודול תואמות את הציפיות שיש לנו מציוד לייצור שבבים.
למה זה עובד בתהליך הליתוגרפיה? החזריות של תהליך האפייה קובעת את האיכות של המוצר הסופי. עם חימום מדויק, ניתן לשמור על אחידות בטמפרטורה בין אצוות שונות, ופריטים שונים על אותו וופר. כך יש פחות צורך בעיבוד חוזר, פחות חומרים לא תקינים, והאיכות של המוצר נשארת קבועה. גם צריכת האנרגיה פוחתת, מכיוון שהמודול מחמם רק את האזורים הרצויים, ומפחית את החימום של האזורים הסמוכים.
התקנה ההתקנה דורשת משטח נקי ושטוח, ומספיק מקום למערך הפלטת האינפרא-אדום. קיטי ההתקנה מתאימים למסילות נפוצות, אך המבנה המכני שלהם משתנה בהתאם לפלטפורמה. כדי להשיג אחידות של ±0.1°C, יש צורך לכייל את המודול לפי הפרופיל התרמי של החומר הפוטורזיסטיבי – אנו מספקים נהלים לכך. לאחר הכיול, התהליך נשאר יציב, אך אם משנים את החומר הפוטורזיסטיבי, יש צורך בבדיקה נוספת.