Une façon plus efficace de sécher les waffers de capteurs MEMS
Si vous avez déjà eu affaire à des waffers de capteurs MEMS, vous savez à quel point c’est difficile. Il faut éliminer l’eau le plus rapidement possible – mais on ne peut pas se permettre que des marques d’eau apparaissent ou que des contraintes thermiques endommagent toute la série de waffers.
Pendant longtemps, on utilisait des fours à convection. Mais honnêtement, c’était une perte de temps et d’énergie. Il fallait chauffer toute la chambre juste pour sécher quelques waffers. C’était lent, coûteux, et cela ne correspondait pas aux objectifs des « usines vertes » que nous cherchons tous à atteindre aujourd’hui.
C’est pourquoi nous avons opté pour des lampes à rayonnement infrarouge à courte longueur d’onde. Au lieu de chauffer l’air, nous chauffons directement la surface des waffers.
Pourquoi la physique joue un rôle important
Nous utilisons ces systèmes à haute densité de puissance. L’objectif est d’obtenir un séchage rapide. Le truc, c’est que le rayonnement infrarouge atteint directement les molécules d’eau présentes sur les waffers. Il ne reste pas dans l’air ni ne pénètre dans la structure de la machine. C’est efficace, propre, et cela permet d’accélérer considérablement les temps de séchage.
Les détails techniques
Nous utilisons des tubes en quartz de haute pureté pour les lampes. Dans les usines de semi-conducteurs, toute forme de contamination est un véritable cauchemar. Nous ne prenons donc aucun risque. En fonction de la taille des waffers et du type de chaleur nécessaire, nous pouvons ajuster les revêtements des lampes. Cela permet à la chaleur d’atteindre les structures MEMS sans endommager leurs bords.
Un mot sur les connexions électriques : nous utilisons des connecteurs industriels standards. Ils sont solides et ne se détachent pas lorsque la machine fonctionne.
Un conseil si vous remplacez ces lampes dans une ancienne ligne de production : vérifiez la tension électrique. Ces lampes consomment beaucoup de courant. Si votre alimentation électrique n’est pas capable de gérer cette charge initiale, vous risquez de faire sauter le disjoncteur.
Les compromis
Le séchage par rayonnement infrarouge est rapide, mais il est également intense. Il y a donc beaucoup de chaleur localisée. Il faut trouver le bon équilibre entre la température des lampes et la vitesse de déplacement des waffers. Si le convoyeur est en retard, même d’une seconde, vous risquez de faire fondre ces membranes de capteurs fragiles.
Pour éviter de perdre toute une série de waffers, nous recommandons d’utiliser un système de contrôle en temps réel. Cela permet de réguler la puissance des lampes en continu, ce qui vous permet de dormir tranquille, sachant que vos waffers sont en sécurité.