روش بهتری برای خشک کردن ویفرهای سنسورهای MEMS
اگر تا به حال با ویفرهای سنسورهای MEMS سر و کار داشتهاید، میدانید که این کار چقدر دشوار است. لازم است که آب از روی ویفرها در هر صورت حذف شود؛ اما نمیخواهیم که ردپاهای آب یا استرس حرارتی به وجود آید که باعث خراب شدن ویفرها شود.
برای مدت طولانی، از فرهای هوای گرم برای این کار استفاده میشد. اما راستش، این روش بیفایده است؛ چون برای خشک کردن چند ویفر، مجبوریم کل محفظه را گرم کنیم. این روش کند، پرهزینه است، و با اهداف «کارخانههای سبز» که امروزه در پی آن هستیم، سازگار نیست.
به همین دلیل، ما به استفاده از لامپهای مادون قرمز کوتاهموج روی آوردیم. در این روش، به جای گرم کردن هوا، مستقیماً سطح ویفرها گرم میشود.
چرا فیزیک اهمیت دارد؟
ما این سیستمهای مادون قرمز را به گونهای طراحی کردهایم که تراکم انرژی بالایی داشته باشند. هدف، افزایش سریع دماست.
نکته مهم این است که تشعشعات مادون قرمز مستقیماً به مولکولهای آب روی ویفرها برخورد میکند؛ این تشعشعات در هوا باقی نمیمانند و وارد بدنه دستگاه نمیشوند.
این روش کارآمد و تمیز است؛ همچنین باعث میشود زمان لازم برای خشک کردن ویفرها کاهش یابد.
جزئیات مربوط به لامپها
ما از لولههای کوارتز با خلوص بالا برای ساخت لامپها استفاده میکنیم. در کارخانههای تولید نیمههادی، هرگونه آلودگی مشکلات زیادی ایجاد میکند؛ بنابراین ما در این مورد هیچ ریسکی نمیپذیریم.
بسته به اندازه ویفرها و نوع الگوی حرارتی مورد نیاز، میتوانیم پوششهای روی لامپها را تنظیم کنیم. این کار به گرم شدن ساختارهای MEMS کمک میکند، بدون اینکه لبههای ویفرها آسیب ببینند.
نکته مربوط به سیمکشی:
ما از کانکتورهای صنعتی استاندارد برای سیمکشی استفاده میکنیم؛ زیرا آنها محکم هستند و در حین کار دستگاه، شل نمیشوند.
هشداری برای کسانی که میخواهند این لامپها را در خطوط تولید قدیمی استفاده کنند:
حتماً ولتاژ برق را بررسی کنید؛ این لامپها مقدار زیادی جریان را مصرف میکنند. اگر منبع تغذیه شما برای این مقدار جریان آماده نباشد، ممکن است سوییچها خاموش شوند.
معایب این روش:
خشک کردن ویفرها با روش مادون قرمز سریع است، اما شدت حرارت بالاست. بنابراین باید تعادل مناسبی بین دمای لامپها و سرعت حرکت ویفرها برقرار کرد. اگر سرعت حرکت ویفرها کمتر از حد مورد نیاز باشد، ممکن است غشاهای حساس سنسورها ذوب شوند.
برای جلوگیری از از بین رفتن کل محموله، پیشنهاد میکنیم از سیستمهای بازخورد زمان واقعی برای کنترل دما استفاده کنید؛ این کار به شما اجازه میدهد تا با خیال راحتتری کار کنید، چون مطمئن خواهید بود که ویفرها در امان هستند.