در خطوط تولید ۲۰۰ میلیمتری، یک مرحله خیس کردن ناخواسته میتواند باعث کاهش کیفیت محصول شود. آبی که پس از شستشو باقی میماند، به صورت لکههایی روی فوتورزیست ظاهر میشود؛ همچنین، حرارت ناشی از فرآیندهای خشککردن، کنترل ابعاد مهم محصول را دچار اختلال میکند. نمیتوان این مشکلات را با تنظیمات ساده توسط اپراتورها برطرف کرد؛ چیزی که لازم است، یک ماژول خشککن است که در تمام شیفتها عملکرد یکنواختی داشته باشد.
چه چیزهایی اهمیت دارد؟ ماژول خشککن ویفرهای ۲۰۰ میلیمتری ما، بر پایه کنترل دقیق دما و جلوگیری از آلودگی ساخته شده است. یکنواختی دما در سراسر ویفر در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد نگه داشته میشود؛ بنابراین، الگوهای خشککردن یکنواخت باقی میمانند. این سیستم مناسب برای اتاقهای پاکسازی در سطوح ۱ تا ۱۰۰ است؛ همچنین، طوری طراحی شده که هیچ ذرهای تولید نشود، و این امر به دستیابی به استانداردهای بالای مربوط به تعداد ذرات در فرآیند لیتوگرافی کمک میکند. در عملکرد ۲۴/۷، این سیستم به منظور جلوگیری از توقفهای غیرمنتظره طراحی شده است؛ عمر مفید آن نیز دهها هزار ساعت است. تکرارپذیری عملکرد، یک ویژگی اساسی این سیستم است.
چرا این ماژول مناسب است؟ این ماژول میتواند مستقیماً در فرآیندهای تولید ۲۰۰ میلیمتری استفاده شود؛ از فرآیندهای خشککردن پس از شستشو تا مراحل خشککردن فوتورزیست. کنترل دقیق دما، باعث کاهش نقصهای ناشی از تغییرات دما میشود؛ همچنین، خشککردن یکنواخت، تغییرات ناشی از فرآیندهای مختلف را از بین میبرد. نتیجه آن، کاهش تعداد محصولات با کیفیت پایین، افزایش بهرهوری دستگاه، و حفظ استانداردهای ابعاد مهم محصول است. ما از مصرف انرژی کمتری استفاده میکنیم، بدون اینکه دقت تنظیمات دستگاه کاهش یابد؛ بنابراین، هزینههای عملیاتی قابل پیشبینی است.
جزئیات عملیاتی نصب این ماژول باید متناسب با محدودیتهای مربوط به تخلیه گازها و لرزشهای مربوط به سیستمهای مربوطه باشد. این ماژول در صورتی که به یک منبع تغذیه تمیز و پایدار متصل باشد، عملکرد خوبی خواهد داشت؛ همچنین، نگهداریهای پیشگیرانه، مانند بررسی فیلترها و کالیبراسیون سنسورها، باعث میشود که اختلالات طولانیمدت ناشی از فرآیندهای مختلف کمتر شود. باید زمان نگهداری این ماژول را در نظر گرفت؛ این کار کوچک است، اما ضروری است.