در کارخانههای تولید، میدانید که اگر دمای فر در حین فرآیند پختن چیپها ۰٫۲ درجه سانتیگراد تغییر کند، کیفیت رزیستورهای مورد استفاده از حد مطلوب خارج شده و چیپها بیکاربرد میشوند. روشهای معمولی گرمایش، باعث ایجاد ناهمواریهایی در سطح چیپها میشوند؛ بنابراین لازم است محدودیتهای کنترلی را سختتر کنیم تا از این ناهمواریها جلوگیری شود. ما ماژول گرمایش مادون قرمز را طوری طراحی کردهایم که این ناهمواریها را از بین ببرد؛ یعنی در همان نقاطی که اهمیت دارد، یعنی روی سطح چیپها.
چه چیزی اهمیت دارد؟ استفاده از موجهای کوتاه مادون قرمز، همراه با کنترل مستقل، باعث ایجاد یکنواختی در دمای سطح رزیستورها به میزان ±۰٫۱ درجه سانتیگراد میشود. دما در عرض چند ثانیه به حالت پایدار میرسد؛ بنابراین زمان لازم برای گرم شدن چیپها کاهش مییابد و شرایط فرآیند بهتر میشود. این ماژول در اتاقهای تمیز درجه ۱–۱۰۰ کار میکند و هیچ ذرهای تولید نمیشود؛ این موضوع از طریق نظارت لحظهای و طراحی مناسب، تأیید شده است. زمان کارکرد این ماژول ۲۴/۷ است و طول عمر آن نیز مطابق با انتظارات ما از تجهیزات نیمههادی است.
دلیل موفقیت این روش در فرآیند لیتوگرافی ساده است: تکرارپذیری فرآیند پختن، باعث کنترل بهتر اندازههای مربوط به چیپها میشود. با استفاده از سیستم گرمایش منطقهای، ناهمواریهای حرارتی کاهش مییابد؛ بنابراین فرآیند پختن در تمام موارد یکنواخت خواهد بود. این امر منجر به کاهش تعداد چیپهای بیکاربرد و بهبود کیفیت چیپها میشود. همچنین، مصرف انرژی نیز کاهش مییابد؛ زیرا این ماژول فقط مناطق مورد نظر را گرم میکند و انتقال حرارت به ابزارهای مجاور را به حداقل میرساند.
برای نصب این ماژول، نیاز به یک سطح تمیز و صاف وجود دارد؛ همچنین فاصله کافی برای قرارگیری آرایههای تولیدکننده موجهای مادون قرمز لازم است. مجموعههای تعمیراتی این ماژول با مسیرهای معمول سازگار هستند، اما ساختار مکانیکی آنها بسته به پلتفرم متفاوت است. برای رسیدن به یکنواختی ±۰٫۱ درجه سانتیگراد، لازم است ماژول را مطابق با پروفایل حرارتی رزیستورها تنظیم کنیم؛ ما روشهای لازم برای این کار را فراهم کردهایم. پس از تنظیم، فرآیند کاری ثابت خواهد ماند؛ اما اگر شیمی رزیستورها تغییر کند، لازم است ماژول را دوباره تنظیم کنیم.