در کف کارخانه، تکرارپذیری پخت فوتورزیست تنها هزینه ورود به فرایند است. انحراف ۲ درجه سانتی‌گراد در طول پخت نرم یا پخت سخت به سرعت از بودجه ابعاد...

در سالن تولید، ساعت هیچ‌گاه متوقف نمی‌شود. خطوط لیتوگرافی به کار خود ادامه می‌دهند، ماژول‌های coat/bake در حال چرخه هستند و بودجه حرارتی یک محدودیت...