در کف کارخانه، تکرارپذیری پخت فوتورزیست تنها هزینه ورود به فرایند است. انحراف ۲ درجه سانتیگراد در طول پخت نرم یا پخت سخت به سرعت از بودجه ابعاد بحرانی شما کم میکند—و شما میدانید این یعنی چه: افت بازده. سپر شیشهای کوارتز روی لامپهای کارخانه برای حفظ صحت میدان حرارتی دقیقاً در جایی است که ویفر با فوتورزیست تماس دارد.
آنچه زیر کاپوت اهمیت دارد
ما از کوارتز با خلوص بالا استفاده میکنیم چون انرژی موج کوتاه و موج متوسط را با حداقل جذب منتقل میکند، بنابراین خروجی لامپ و پایداری طیفی دقیقاً در همان سطح لازم باقی میمانند. یکنواختی حرارتی در سراسر ویفر در حد ±0.1°C حفظ میشود که پایهای برای جریان یکنواخت فوتورزیست و حذف تمیز حلال است. این ماده در کلاس ۱ تا ۱۰۰ اتاق تمیز سازگار است و طراحی آن باعث میشود در حین عملیات تولید ذرات به صفر برسد—پس لایه فتو لیتوگرافی پاک میماند. شما قابلیت اطمینان ۲۴ ساعته در هفت روز هفته بدون توقفهای غیرمنتظره، به علاوه عمر سرویس طولانی و خروجی پایدار در هزاران ساعت کار دریافت میکنید.
چرا با شیوه اجرای لیتوگرافی ما مطابقت دارد
شما بر اساس بودجههای حرارتی محدود کار میکنید. این سپر انرژی لامپ را متمرکز نگه میدارد، نقاط داغ را حذف میکند و پروفیلهای پخت نرم و پخت سخت را تکرارپذیر میسازد. نتیجه به صورت تطابق دقیقتر لایهها، کاهش تعداد دستههای بازکاری و کاهش ضایعات نمایان میشود. همچنین مصرف انرژی کاهش مییابد چون لامپ به شکل بهینه کار میکند و دوام سپر به معنای نیاز کمتر به قطعات یدکی و کاهش زمانهای توقف نگهداری است.
نکاتی که هنگام نصب و نگهداری باید رعایت شود
نصب به تراز دقیق با محور لامپ و رابط تمیز با دستگاه بستگی دارد. آن را با روشهای منطبق با اتاق تمیز انجام دهید؛ یک خش میکروسکوپی میتواند نور را پراکنده کند و در آینده مشکلساز شود. سپر را با نوع و ولتاژ لامپ مطابقت دهید—عدم تطابق باعث تغییر خروجی طیفی و کاهش یکنواختی میشود. بازدیدهای دورهای برای تأیید انتقال نور و سلامت سپر برنامهریزی کنید، به خصوص زمانی که چرخههای با توان بالا اجرا میکنید.