دیگر نیازی نیست دیوارههای تجهیزات خود را گرم کنید؛ بهتر است سنسورهای مورد استفاده را گرم کنید.
اگر تا به حال در تولید سنسورهای هیدروژن کار کردهاید، میدانید که مشکلات مربوط به پروفایلهای حرارتی چقدر زیاد هستند. اکثر عناصر گرمایشی، انرژی را در همه جهات پخش میکنند؛ این کار باعث هدررفت انرژی زیادی میشود. در نتیجه، تجهیزات نیمههادی به یک منبع گرمایی بزرگ تبدیل میشوند.
وقتی که دیوارههای داخلی تجهیزات به شدت گرم میشوند، مشکلاتی پیش میآید؛ این امر نه تنها برای کسی که ماشین را کنترل میکند، خطرناک است، بلکه باعث اختلال در تغییرات دمایی در سطح ویفر نیز میشود. هیچ چیز به اندازه عدم یکنواختی حرارت، فرآیند تولید را خراب نمیکند.
راهحل واقعاً ساده است: استفاده از لامپهای مادون قرمز جهتدار.
در عوض اینکه انرژی در همه جا پخش شود، این لامپها از بازتابندهها و پوششهای خاصی برای هدایت انرژی به یک جهت خاص استفاده میکنند. این کار باعث میشود که انرژی دقیقاً در همان نقطه مورد نظر تأثیر بگذارد، و بقیه بخشهای تجهیزات تحت تأثیر قرار نگیرند.
این روش باعث میشود که اپراتورها در هنگام باز کردن ماشین، در معرض خطر سوختگی قرار نگیرند؛ همچنین سیستمهای خنککننده نیز میتوانند دیگر با انرژی اضافی مقابله نکنند.
چرا این روش مؤثر است؟
با تمرکز انرژی در یک نقطه خاص، میتوانید تراکم حرارتی را در همان نقطه افزایش دهید؛ این کار باعث میشود که بتوانید دما را سریعتر افزایش دهید و کنترل بهتری بر فرآیندهای حرارتی داشته باشید. معمولاً این لامپها را طوری تنظیم میکنیم که در طولموجهای خاصی عمل کنند، تا با موادی که استفاده میکنیم، سازگار باشند.
اما باید توجه داشت که این روش راهحل جادویی نیست؛ معایبی نیز دارد.
وقتی که انرژی زیادی در یک نقطه تمرکز میشود، فشار زیادی بر پوشش کوارتز لامپ وارد میشود؛ بنابراین باید مطمئن شوید که سیستمهای هواخیز و براکتهای مربوطه برای این شرایط مناسب باشند.
همچنین، تنظیم دقیق لامپها بسیار مهم است؛ اگر تنظیمات لامپها کمی اشتباه باشد، انرژی در نقطه اشتباهی تمرکز خواهد شد و منجر به ایجاد نقاط گرم در تجهیزات داخلی خواهد شد. دقت در تنظیمات بسیار مهم است.
مزیت این روش این است که مصرف انرژی کمتر میشود و داخل ماشین نیز ایمنتر میشود. این روش راهی برای استابیل کردن فرآیندهای تولید است، بدون اینکه نیاز باشد کل محفظه خلا را تعمیر کنیم.