در خط تولید ۳۰۰ میلیمتری، استفاده از دستگاه خشککن ضروری است؛ زیرا این دستگاه آخرین مرحله کنترل حرارتی قبل از خروج محصول نهایی از خط تولید است. حتی کمی عدم یکنواختی در دمای حرارتی حین پخت رزیست، یا وجود ذرات ناشی از فرسودگی لامپ، میتواند باعث شود فرآیند لیتوگرافی به فاجعه تبدیل شود. ما لامپ خشککن مورد استفاده در خط تولید خود را بر اساس یک الزام اساسی طراحی کردهایم: نگه داشتن دمای سطح ویفر در محدوده ±۰٫۱ درجه سانتیگراد، بدون ایجاد هیچ نوع آلودگی.
عوامل مهم در عملکرد این دستگاه
ما از فرستندههای مادون قرمز با طول موج کوتاه استفاده میکنیم تا گرمایش سریع و متمرکزی ایجاد شود؛ بنابراین دما بدون هیچ تأخیری به مقدار تنظیم شده میرسد. پنجره کوارتزی و ساختار بازتابندهای که برای خطوط ۳۰۰ میلیمتری طراحی شده، باعث یکنواختی توزیع گرما در سراسر ویفر میشود؛ این امر باعث کاهش تفاوت دمایی در لبهها و مرکز ویفر میشود. این سیستم سازگار با محیطهای پاک است؛ مواد و مهرهای مورد استفاده نیز در کلاس ۱ تا ۱۰۰ قرار دارند. همچنین، این سیستم به گونهای طراحی شده که بدون ایجاد ذرات کار کند. کنترل حلقه بسته، باعث تکرارپذیری خروجی میشود؛ بنابراین دمای مناسب بر روی هر ویفر، در هر شیفت، یکسان خواهد بود.
چرا این دستگاه در فرآیند رزیست مهم است
دمای حرارتی مورد استفاده در فرآیند پخت رزیست، مستقیماً بر فرآیند حذف حلالها، تنشهای روی لایه رزیست و در نهایت کنترل ابعاد محصول تأثیر میگذارد. این لامپ، پروفایل حرارتی مورد نیاز را تضمین میکند؛ بنابراین نیاز به بازسازی کمتری وجود دارد و بازدهی فرآیند بهتر خواهد بود. پاسخ سریع این دستگاه، زمان پردازش را کاهش میدهد؛ همچنین، جرم حرارتی پایین این دستگاه، مصرف انرژی را کاهش میدهد. در نتیجه، نتایج یکنواختی خواهیم داشت؛ همچنین، هشدارهای کمتری وجود خواهد داشت و نیاز به تعمیرات کمتری خواهد بود.
چه چیزهایی را باید در هنگام نصب در نظر بگیریم
این لامپ برای کار با ویفرهای ۳۰۰ میلیمتری و ادغام آن در محیطهای پاک طراحی شده است؛ اما رابطهای مکانیکی و سیستمهای لازم برای تأمین انرژی، خنککردن و دفع گازها، باید در هنگام نصب مناسب شوند. پایداری خروجی این دستگاه، به برق پاک و دمای ثابت آب خنککننده بستگی دارد؛ بنابراین، باید در هنگام راهاندازی، بررسیهایی برای تأیید عملکرد صحیح دستگاه انجام شود. همچنین، باید یک روز زمان برای ادغام دستگاه در سیستم تخصیص داده شود؛ سپس دستگاه باید یک بار بر اساس دستورالعملهای فرآیندی تنظیم شود.