در فرآیند لیتوگرافی، میدانید که چه اتفاقاتی میافتد. حرارت ملایمی وجود دارد که میتواند باعث تغییرات جزئی در دما شود؛ در نتیجه کنترل ابعاد مهم محصولات دچار اختلال میشود. همچنین، ذرات ناخواسته نیز به وجود میآیند، و کسی وقتی برای رفع آنها ندارد. در همین حال، ویفرها در صف قرار میگیرند و انرژی زیادی مصرف میشود؛ در حالی که زمان همچنان در حال گذر است. ما لامپهایی ساختهایم که این مشکلات را برطرف کنند.
چه چیزهایی از نظر فنی مهم هستند؟
ما از لامپهای هالوژنی با طول موج کوتاه استفاده میکنیم؛ این لامپها انرژی را مستقیماً به فوتورزیست منتقل میکنند. در نتیجه، کنترل دقیق دما امکانپذیر میشود و یکنواختی در سطح ویفرها در محدوده ±۰.۱ درجه سانتیگراد حفظ میشود. این سیستم در اتاقهای تمیز کلاس ۱-۱۰۰ قرار دارد و هیچ ذرهای تولید نمیکند؛ این امر به لطف نظارت لحظهای و طراحی بسته و بدون تخلیه گاز امکانپذیر شده است. پشتوانه عملکرد این سیستم در تمام شرایط یکسان باقی میماند؛ در خطوط تولید با حجم بالا، این سیستم ۲۴/۷ کار میکند و هیچ توقف غیرمنتظرهای وجود ندارد.
دلیل عملکرد خوب این لامپها در فرآیندهای پخت نرم و سخت ساده است: دقت دما، تأثیر مستقیمی بر خواص فوتورزیست، قدرت چسبندگی آن و همچنین انتخابپذیری فرآیند حکاکی دارد. این لامپها زمان پخت را کاهش میدهند؛ در نتیجه نقصهای ناشی از صفهای انتظار کاهش مییابد و عرض خط تولید نیز ثابت میماند. مصرف انرژی نیز کاهش مییابد؛ زیرا گرما به جای گرم کردن اتاق، مستقیماً به فوتورزیست منتقل میشود. همچنین، فاصله زمانی بین تعمیرات نیز طولانیتر میشود؛ زیرا ساختار لامپها از ایجاد نقاط گرم و استرس حرارتی جلوگیری میکند. در نتیجه، بازدهی بالاتری حاصل میشود، مقدار کمتری از محصولات نیاز به تعمیر دارند و زمان چرخه تولید نیز قابل پیشبینی است.
چند نکته که باید در نظر گرفت: این لامپها نیاز به هوای تمیز و خشک یا نیتروژن برای جلوگیری از تشکیل رطوبت و حفظ پایداری طیفی دارند. این لامپها میتوانند با سیستمهای استاندارد OEM ادغام شوند؛ اما ادغام آنها باید با جرم حرارتی دقیق چاپگر و ساختار ایستگاه پخت هماهنگ باشد. در زمان آزمایش، باید زمان حرارتی لامپها را تنظیم کرد؛ تا یکنواختی مورد نظر حاصل شود.