晶圆烘干灯 300毫米

在300毫米光刻工艺中，干燥设备并非可有可无的辅助设备，而是决定最终产品合格率的最后一道关键工序。如果光刻胶烘烤时的温度分布不均匀，或者老化后的光源产生颗粒物，那么再完美的光刻工艺也会导致产品报废。我们设计的晶圆干燥系统遵循了一个核心要求：将晶圆表面的温度控制在±0.1°C范围内，同时避免任何污染...