晶圆处理设备用温度传感器
在晶圆制造过程中减少碳排放:关于红外加热的真相
说实话,半导体生产设备确实非常耗能。如果从晶圆制造过程的碳足迹来看,最大的能源浪费往往发生在加热环节。多年来,我们一直都是将整个真空室当作一个巨大的烤箱来使用,这就好比为了加热一块披萨而让整个房子都变得温暖起来。
而采用定向红外灯系统则可以改变这一状...
MEMS传感器晶圆干燥加热器
更好的MEMS传感器晶圆干燥方法 如果你们曾经处理过MEMS传感器晶圆,就会明白其中的难题所在。必须尽快去除晶圆上的水分,但同时又不能让水迹或热应力破坏整批晶圆。
长期以来,人们通常使用对流式烘箱来干燥晶圆。但说实话,这种方法效率极低——为了干燥几块晶圆,却不得不加热整个烘箱。这不仅耗时耗力,而且...
氢气传感器制造用加热器
停止加热设备的外壁,转而加热传感器本身 如果您曾经参与过氢气传感器的制造工作,那么您一定知道控制温度分布的难度有多大。大多数加热元件会将热量向各个方向散射,这样不仅效率低下,还会浪费大量能源。此外,半导体设备也会因此变成一个巨大的散热体。
当设备内部的墙壁变得过热时,就会出现问题。这不仅会对操作人...
用于晶圆的精密红外传感器
为何我们如此重视红外传感器的绝缘性能测试?
在芯片制造过程中,风险极高。哪怕出现微小的电泄漏,整个批次的硅片就都变成了废品。因此,我们不会只检测少数样品,而是对每一件产品进行100%的耐压和绝缘电阻测试。这是不可妥协的要求。
关于绝缘性能的详细说明
我们会将这些传感器置于极限环境下进行测试,以确保...