分区红外加热模块

在晶圆制造车间里，大家都是这么做的：如果烘烤温度出现0.2℃的偏差，那么光阻层的性能就会超出标准范围，从而无法使用。传统的加热方式难以解决边缘温度不均匀的问题，因此需要更严格的控制参数来确保温度稳定。我们设计的这种分区红外加热模块，能够消除在晶圆处理过程中出现的温度波动——也就是在晶圆本身所在的位...