Isı kaybını durdurun: Altın kaplamalı yansıtıcıların neden önemli olduğu
Wafer üretim tesislerinde enerji israfı, aslında zaman israfı anlamına gelir. Waferleri işlerken, kullandığınız kızılötesi enerjinin yarısının makinenin içine sızdığını fark etmek oldukça sinir bozucudur. Bu tam anlamıyla bir israftır.
İşte bu yüzden altın kaplamalı yansıtıcılar kullanıyoruz. Isının dışarı kaçmasını engelleyerek, onu tekrar substratın üzerine yönlendiriyoruz.
Altının avantajları
Çoğu kişi alüminyum yansıtıcılar kullanmayı tercih eder; ancak bunlar, derinlemesine ısı uygulamaları için gerekli olan dalga boylarında etkisiz kalırlar. Altın ise farklıdır; kızılötesi radyasyonun %98’ini geri yansıtır. Kuvars kaplamaların veya makine gövdelerinin üzerine ince bir altın katmanı ekleyerek enerjiyi yoğunlaştırabiliriz. Böylece daha düşük güçle de daha yüksek enerji yoğunluğu elde edilir. Enerji faturasını düşürürken, işlem hızını da artırırız. Bu tam anlamıyla kazan-kazan durumudur.
Doğru ekipman seçimi
Asıl mesele, lambanın geometrisidir. Yüksek enerji yoğunluğu elde etmek için lambalarımızı özel olarak tasarlıyoruz; böylece tüm wafer üzerinde eşit bir ısı dağılımı sağlanır. Garip soğuk noktalar oluşmaz.
Ancak burada bir sorun var: Altın oldukça hassastır. Kirlenmeyi hiç sevmez. Yansıtıcı üzerindeki tek bir parmak izi veya küçük bir yağ lekesi bile etkinliği bozabilir ve waferde soğuk noktalar oluşmasına neden olabilir. Ortamın tertemiz tutulması şarttır; aksi takdirde zamanınızı boşa harcamış olursunuz.
Sisteminizde nasıl çalışır?
Bu lambaları, mevcut IR dizilerinin yerine kullanılacak şekilde tasarladık. Mevcut kontrol cihazlarına doğrudan bağlanabilirler.
Ancak dikkat: Termal profilde değişiklikler olacaktır. Altın enerjiyi çok yoğun bir şekilde odakladığı için, her şey daha yoğun hale gelir. Eğer wafer tam olarak odak noktasında değilse, yerel aşırı ısınma riski vardır. Substratın yanmaması için Z ekseni ayarlarını dikkatlice yapmanız gerekebilir. Bu bir denge meselesidir; büyük bir enerji artışı elde edersiniz, ancak konumlandırma konusundaki hata payınız oldukça azalır.