Üretiminizdeki “hayalet parçacıklarını” nasıl durdurursunuz?
Sınıf 100 temiz odalarını tertemiz tutmak için sadece hava filtrelerini değiştirmek yeterli değildir. Eğer yarı iletken işleme alanında çalıştıysanız, asıl sorunun ne olduğunu biliyorsunuz: Isıtma elemanlarıdır.
Çoğu standart kızılötesi lamba oldukça problemlidir; istemediğiniz anda gaz salar veya küçük parçacıklar yaymaya başlar. Biz bu sorunu, yüksek saflıkta sentetik kuvars ile altın yansıtıcı kaplama kullanarak çözdük.
İşte bunun nasıl işlediği:
Kuvars tüpünün arka yüzeyine altın tabakası uygulanır. Buradaki amaç görsel olarak şık görünmek değildir. Bu altın tabaka, kızılötesi radyasyonu geriye, yani waferin bulunduğu yöne yansıtarak lambanın ısınmasını engeller.
Sonuç olarak, önemli olan bölgelerde daha yüksek ısı yoğunluğu elde edilir ve lambanın uç kısımları daha soğuk kalır.
Peki ya kuvars? Biz yüksek saflıkta kuvars kullanıyoruz. Yüksek sıcaklıklarda metalik kirlerin ortaya çıkmaması için özelliklere büyük önem veriyoruz. İşte bu sayede “hayalet parçacıklarının” mükemmel bir silikon waferi mahvetmesi engellenir.
Kurulumla ilgili birkaç ipucu:
Bu lambalar hassas cihazlardır ve ürettikleri ısı da oldukça yüksektir. Altın kaplama, tüm enerjiyi tek bir yöne yönlendirdiğinden, lambanın sıcaklığını kontrol etmek çok önemlidir. Eğer soğutma sisteminiz bu kadar yüksek ısıya dayanamıyorsa, ekipmanlarınız hasar görebilir. Bu oldukça güçlü bir cihaz olduğundan, soğutma sisteminizin yeterli olup olmadığından emin olun.
Neden bu kurulumla uğraşılsın ki?
Ucuz lambalar genellikle yapıştırıcılar veya düşük kaliteli metaller kullanır. Vakum veya ultratemiz ortamlarda bu malzemeler yanar veya gaz salar. Bu durum gerçekten korkutucudur.
Bizim altın kaplamalı tüplerimiz ise bu tür sorunları tamamen ortadan kaldırır. Üretim hattınıza zarar vermeyen, stabil ve temiz bir ısı kaynağı elde edersiniz. 300 mm’lik waferlerde en ufak bir toz parçasının bile olmasını istemeyen her mühendis için bu, daha basit ve güvenli bir çözümdür.